高分辨率臺式掃描電鏡是對樣品表面形態進行測試的一種大型儀器，當具有一定能量的入射電子束轟擊樣品表面時，電子與元素的原子核及外層電子發生單次或多次彈性與非彈性碰撞，一些電子被反射出樣品表面，而其余的電子則滲入樣品中，逐漸失去其動能，停止運動，并被樣品吸收。
掃描電鏡視頻放大器放大的二次電子信號是一個交流信號，用這個交流信號調制顯像管柵極電，其結果在顯像管熒光屏上呈現的是一幅亮暗程度不同的，并反映樣品表面起伏程度(形貌)的二次電子像。
掃描方式分點掃描、線掃描、面掃描和Y調制掃描。掃描電鏡圖像的放大倍率是通過改變電子束偏轉角度來調節的，放大倍數等于CRT面積與電子束在樣品上掃描的面積之比，減小樣品上掃描的面積，就可增加放大倍率，電子束在樣品上掃描的面積，由掃描線圈產生的激勵磁場控制，可以連續調節，所以掃描電鏡的放大倍率是可以連續調節的。
為保證高分辨率臺式掃描電鏡電子光學系統的正常工作，掃描電鏡采用一個機械泵和一個油擴散泵，真空系統的工作自動進行并有保護電路。若達不到高真空，高壓指示燈將不亮，高壓加不上，擴散泵冷卻水斷路或水壓不足，全機電源自動切斷，擴散泵溫度過高也自動斷電。電子槍燈絲更換有單獨的電子槍室與主機鏡筒隔離，更換燈絲后幾分鐘內電子槍即可達到高真空。
