高分辨率臺式掃描電鏡的工作原理基于物理光學的成像原理。從電子槍中發射出的電子經過一系列電磁透鏡被聚焦成極細的電子束，這個電子束在的電磁透鏡上方的雙偏轉線圈的驅動下，在樣品表面進行柵網狀掃描。
當電子束打在樣品上時，會產生各種信號電子，包括二次電子、背散射電子、吸收電子、透過電子、特征X射線等。這些信號電子被相應的探測器接收，并被轉換成電信號，然后通過電信號處理器進行處理，形成圖像。
二次電子主要來自樣品表面5-10納米的區域，能量較低，通常用于反映樣品表面的形貌；背散射電子來自樣品較深處，能量較高，反映的是原子序數的信息，通常用于反映樣品的化學成分。
高分辨率臺式掃描電鏡的維護保養方法：
1.密封圈的清潔與潤滑
-定期清潔：每隔三個月使用無塵布蘸取少量酒精輕輕擦拭密封圈，直至無塵布上無黑色污漬為止。
-涂覆硅脂：清潔后，在密封圈上均勻涂覆一層薄薄的高真空硅脂，以保持其良好的密封性能。
2.燈絲的維護與更換
-觀察飽和程度：經常觀察燈絲的飽和程度，當發現燈絲電流不在飽和狀態時，適當手動調整燈絲電流，使燈絲處于飽和狀態。
-半自動調整：選擇半自動調整電子槍，避免全自動調整時燈絲電流過大，消耗燈絲，影響壽命。
3.環境條件的控制
-溫度與濕度：實驗室環境溫度應長期維持在20~24°C之間，濕度保持在50%以下。
-室內清潔：保持室內清潔衛生，嚴禁在室內喝水、飲食，以避免污染和損害設備。
4.日常檢查與維護
-檢查隔夜真空：每日開機時，檢查系統的隔夜真空情況，隔夜真空值以保持在150Pa以內為佳。
-樣品腔室密封：一旦隔夜真空值超過250Pa，需要立即檢查樣品腔室是否存在密封問題。
5.電子槍和鏡筒的維護
-防塵措施：在更換燈絲或清洗光闌時，使用無塵布遮檔好鏡筒和電子槍敞口區域，防止粉塵落入。
-保持高真空度：隨時注意鏡筒是否存在微小泄露，并保證各級泵的性能，必要時更換泵油。
6.樣品的準備
-樣品干燥：待觀察樣品應盡量干燥、無揮發性物質，以避免影響鏡筒的真空度和腐蝕燈絲。
